上海程斯智能科技有限公司

概述：

表面洁净度测试仪采接触式，测量物体表面的粒子数量的设备!是半导体、面板厂、设备商与有清洁部件厂商用于验证部件表面是否干净的检验标准工具，人的肉眼很难看清直径在100微米以下的粒子，这些粒子会快速沉降，逃避常规的空气检测从而聚集在关键表面或产品上，从而减少产品的良率及降低产品的稳定性。

执行标准：

ISO14644-9：2022 《洁净室和相关的受控环境第 9 部分：颗粒浓度表面清洁度的评估》

技术参数：

控制系统：PLC

操作界面：7寸触摸屏

流量：28.3L/min+5% 内置流量传感器，流量自动闭环控制

光源：进口激光二JI管

测试粒径：0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um（可根据客户需求定制，ZUI多八个通道）

ZUI大饱和浓度：2000000/ft³（5%）

自净时间：≤10min

测量次数：0-99次周期：0-99999秒测量间：0-9999秒时时间：0-9999秒

洁净度等级：1~9级

采样头规格：φ36.5

数据单位：m³、ft³

SCP等级：1级-8级

表面类型：圆形、方形

表面探头：φ12.7mm、φ20mm、φ30mm、φ50mm、φ70mm

数据单位：m²、ft²、in²、cm²、mm²

根据探头的形状（如：圆形输入直径、方形输入长宽尺寸），自动计算出表面积。

打印功能：热敏打印机

数据储存：可储存100000组数据

重量：15kg

外形尺寸：300*400*450mm

电源：AC220V 50Hz  150W（可选带锂电池组）

基本配置：

主机一台

说明书1份

合格证1份

签收单1份

电源线1份

扳手1套

保修卡一个

铭牌一个